Ga2O3材料测试表征 SEM+EDS

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Ga2O3材料测试表征 SEM+EDS

类别：试验检测

截止日期：2020-08-31 预算：面议征集状态：已完结

1.测试SEM横截面图，测试倍数统一为30K，其余的测试条件保持一致。 2.测试EDS能谱，测试范围为0-10KeV，并且给出各元素的组分 1.由于样品具有高阻，测试SEM可能需要喷金处理，为了我们今后测试，请将每个样品切开，用其中的一部分进行测试，另一部分回收。 2.SEM横截面图应该测试清晰，外延层与衬底之间的边界清晰。 3.每一份SEM测试图请保存成两张，其中一张请标注清楚外延层的厚度。 4.测试材料表面可能有沾污，如果对测试EDS能谱有影响请清洗一下。

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发布日期：2020-08-26

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