介质薄膜应力测试

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介质薄膜应力测试

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类别：试验检测

截止日期：2020-09-10 预算：面议征集状态：已过期

介质薄膜/硅衬底二氧化硅、氮化硅薄膜 1.应力测试验证薄膜质量 2.样品尺寸包括小片、4英寸、6英寸 3.薄膜厚度几十纳米-微米 1.应力值与应力分布 2.物理分析与改进建议

需求市场

发布日期：2020-08-11

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