蓝宝石衬底外延Ga2O3薄膜制作的Ga2O3光电探测器 1.4个样本都进行I-V暗电流测试,测试电压范围为-15V—15V。
2.4个样本都进行I-V光电流测试,测试电压范围为-15V—15V,测试时施加的光波长为254nm。
3.在15V电压以及在波长254nm的测试条件下进行Time-dependent photoresponse测试,间隔时间和光照时间都为10s,总测试时间为200s。
4.固定偏置电压为15V,测试样本的Responsivity-Wavelength光谱,波长测试范围为200-500nm。
5.测试时光的强度待定,可以根据测试单位的条件灵活采用。
6.以上的测试条件是初步设定,测试3和4具体的电压应在测试完成1和2之后再进一步确定。