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在云母衬底上用PLD生长Sb2O3晶体薄膜
截止日期:2022-08-15 预算:面议 征集状态:已完结
实验测试说明 1、用PLD在2英寸云母(mica)衬底上生长α相Sb2O3(氧化锑)单晶薄膜,生长温度大概为300℃。2、生长3组样品,厚度分别为10nm, 50nm, 100nm。3、原材料,靶材需要使用α相Sb2O3实验测试目的/结果要求 目的是获得结晶性较好,平整度较好的Sb2O3单晶薄膜。
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