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CF3SO2F及SF6中的痕量气体检测
截止日期：2022-04-29 预算：面议 征集状态：已完结
拟用设备/方法： GC/MS、GC
结果要求：需要分离出 CF3SO2F气体及SF6气体中的ppm级微量分解气体，包括SO2、SOF2、SO2F2、CF4、C2F6、C3F6、C3F8、CS2、COS，及未知杂质气体等。测试范围在0.1ppm~100ppm。
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