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原子力显微镜（AFM）/近场微波显微镜（SMIM）
在线咨询品牌： 型号： 未知
AFM：探测样品局部的表面形貌，搭配锁相放大器可实现PFM、EFM等功能/探测区域表面起伏度不超过500nm的固体样品.
SMIM：探测样品局部的电导率、介电常数以及载流子浓度和类型等电学性质/探测区域表面起伏度不超过500nm的固体样品.
AFM：纵向分辨率：0.01 nm ；横向分辨率：0.1 nm。
SMIM：分辨率：1 aF.
Technical specifications:
Al : ~15 nm feature height；
SiO2 : 2um film thickness；
Si : p-Si, 0.1-0.9W·cm substrate doping concentration 。
