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激光超声无损检测系统
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激光超声无损检测；金属、陶瓷、复合材料中的缺陷、显微组织和力学性能检测；薄膜材料的缺陷、厚度、显微组织和力学性能检测；微电子器件的亚纳米振动特性测量；声表面波器件的声场分布特性
57MHz下yz切铌酸锂声表面波的位移场，面积240μm×240μm，步长8μm；
66MHz下声表面波声子晶体（铌酸锂衬底上生长的正方晶格镍柱）内部的布洛赫波位移场，面积300μm×264μm，步长3μm；
碳纤维复合材料的缺陷检测。
1. 可以探测的振动频率上限为100MHz；2. 激光光斑直径10μm；3. 最大扫描区域范围为500mm×500mm；4. 最小移动步长0.1μm，最大移动速度0.7mm/s。
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