ESCALAB Xi⁺是赛默飞世尔科技于2016年4月推出的一款数字化多功能光电子能谱仪。该设备采用第三代微距焦单色化X射线激发源，选择束斑面积聚焦可调范围为200um至900um，能在较低运行功率下获得高灵敏度和最佳能量分辨率。

ESCALAB Xi⁺配备了两套探测器，一套为六通道电子倍增器用于高计数率的能谱获取；另一套为二维位置分辨的微通道板探测器，用于位置分辨，能满足系统长期的高灵敏度XPS能谱的获取、成像，以及高本底俄歇能谱的获取。

该设备自带的XPS标准谱库软件，可实现在线查询标准谱，可直接调用标准谱库软件中的标准谱图，并可直接用于对实测数据的谱峰拟合，非线性拟合，叠加比对等独一无二的功能，大大降低了谱峰拟合的难度和出错几率

。因此，该设备可以高精度完成各种材料样品表面的元素成分、价态、相对含量、浓度掺杂及表面、深度分布等功能分析，确保所研发材料的性能的精确控制，以完成材料表面元素以及化合态的分布、识别、量化，功能分析和预测等。

1、X射线源

（1）靶：双阳极Al/Mg靶；

（2）能量分辨率：0.43 eV/（Ag 3d5/2） 0.82 eV/（C 1s）；

（3）最小分析区域（收谱）20μm；

（4）灵敏度： 4Mcps@1.0eV (650μm) 1.8Mcps@0.6eV (650μm) 700kcps@0.5eV (650μm)；

（5）成像空间分辨率：小于1 μm。

2、能量扫描范围及最小步长

（1）6meV (0~1,500eV) 12meV (0~3,000eV) 24meV (0~5,000eV)。

3、最大分析面积 8mm

主要用于化学、材料、能源、机械等领域，可测试粉末、块状、纤维、薄膜等样品；分析内容包括表面元素组成及化学态定性定量分析、表面元素深度分析、表面元素分布分析等；

能够检测元素周期表中除H和He以外所有的元素；

真空系统性能5×10-10 mbar，成像空间分辨率<1 μm；

双阳极Al/Mg靶，功率400W；单色化的Al Kα，最佳能量分辨率≤45 eV，最佳空间分辨率≤20 ms；灵敏度4 Mcps@1.0 eV（650 μm），1.8 Mcps@1.0 eV（650 μm），700kcps@1.0 eV（650 μm）；