美国FEI环境扫描电子显微镜的主要特点：

 1.FEI ESEM(环境扫描电镜)技术, 可在高真空、低真空和环境真空条件下对各种样品进行观察和分析。

 2.所有真空条件下的二次电子、背散射电子观察和微观分析。 

3.先进的系统结构平台，全数字化系统。

 4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统。

 5.可安装低温冷台、加热台、拉伸台等进行样品的原位、动态观察和分析。 环境扫描电镜有二个探头(ET和GSED),分别在高真空和低真空下工作.因此,它除了保持传统扫描电镜功能外.由于增加了GSED探头,就增加了新的功能.GSED可以工作在低真空(约达20Torr)下,它安装在物镜极靴底部,探头上施以数百伏的正电压以吸引由样品激发出的二次电子,二次电子在探头电场中被加速并碰撞气体分子使其电离,部分气体电离成正离子和电子(这些电子被称为气体二次电子),这种加速一电离过程的不断重复,使初始二次电子信号呈连续比例级数放大,GSED探头接收这些信号并将其直接传到电子放大器放大成电信号去调制显象管或其它成像系统。 

（1） GSED探头不含高压元件,可以在低真空的多气体环境中工作,故可以观察含有适量水分的生物样品；

(2)信号的初始放大靠电离气体分子进行,不再需要光电倍增管,GSED探头对光、对热不再敏感,故可以观察发光材料和使用热台；

(3)当绝缘样品表面沉积电荷时,形成的电场会吸引被电离的气体中的正离子而被中和.故非导体样品表面不再进行金属化喷涂处理,从而更好地观察样品表面的细节；也节省了处理样品的中间环节； 

(4)由于GSED探头弥补丁ET探头的缺点,使得环境扫描电子显微镜的运用范围大大扩展.样品室内的适量气体对其工作性能不但没有影响,反而有益,气体越容易电离,所获得的放大增益越高,改变探头的偏置电压即可调节增益或适应于不同的气体.由于水蒸汽获取方便,没有毒性,容易电离,成像性能佳,因此成为员常用的气体.但GSED由于在物镜极靴下面,正对着样品,被放射电子由于能量大,能直接射向GSED探头,因此图像背景较深,对图像的对比度会有些影响.

美国FEI环境扫描电子显微镜的技术参数：

 1.分辨率: 　二次电子: 　　高真空模式 3.0nm @ 30kV, 8nm @ 3kV 　　高真空减速模式 7nm @ 3kV (可选项) 　　低真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV 　　环境真空模式 3.0nm @ 30kV 　背散射电子 4.0nm @ 30kV

 2.样品室压力最高达2600Pa 

3.加速电压200V ～ 30kV，连续调节

 4.样品台移动范围 　Quanta 250: X=Y=50mm 　Quanta 450: X=Y=100mm 　Quanta 650: X=Y=150mm。

适用于导电金属颗粒、片状块状固体，非导电材料固体，含水材料，环境生物样品，生物组织等的直接观察，或喷金后观察。可通过二次电子信号进行表面形貌观察，也可通过背散射电子信号进行材料组成相分布的研究，可获取比较理想的衬度。通过配置的能谱仪可进行观测材料点、线、面的扫描，获得材料元素构成的信息。

环境扫描电子显微镜除了具有传统扫描电子显微镜所有功能外,还具有在低真空下观察含有一定水份的样品和非导体样品.特别对生物样品的观察,省去了脱水、喷金属化等处理的中间制样环节,使得样品能保持原有的微观形貌,这对于观察研究生物微观形貌是非常重要的环节.在传统扫描电子显微镜中,动物、植物样品不通过脱水等处理是不能观察的. 动、植物样品通过脱水等处理后,样品的微观形貌会产生变化,这是不可避免的,这会影响人们对生物微观形态的认识.但在环境扫描电镜中,动、植物样品可以不需要脱水等处理,使样品少变形或不变形,因而更真实地反映样品的微观形貌.环境扫描电镜在低真空下,员适用于观察那些具有一定强度和含水量很低的样品.比如植物的叶子,动物中的昆虫,作物的籽粒,含有结晶水的固体材料等.