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电子束蒸发台
品牌： 型号： 未知
设备类型：行业专用仪器/仪表/设备, 机械专用仪器/设备, 真空获得及其应用设备(镀膜机、沉积系统、刻蚀机等)
冷水机，东露阳DIC050ASH-LA2中功率智能激光冷水机
蒸发银，铝，铜，铬，铁，镍等薄膜（四寸范围优于±5%）（100nm以内）；
蒸发金铂薄膜（四寸范围优于±5%）（100nm以内）。
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