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氧化炉
在线咨询品牌： 型号： 未知
设备类型：行业专用仪器/仪表/设备, 机械专用仪器/设备, 锅炉
工作温度：400-1400℃，三区加温；晶圆尺寸：4英寸；恒温区精度：±1℃；温度稳定性：±1℃；#1管：干法氧化物；#2管：湿法氧化物，#3管：LPCVD(LTO)
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LPCVD；氧化物薄膜生长（升降温时间）；氧化物薄膜生长（通工艺气体时）
