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超声波扫描显微镜
品牌： 型号： 未知
设备类型：光学仪器及设备, 光学显微镜及成像系统, 超声波扫描显微镜
主要技术指标:
超声波检测子系统，最大扫描工作范围600*500*300mm，检测精度0.2μm，检测速度500mm/s；
机械子系统反射扫描和沁透扫描；
系统软件检测结果分析，计算缺陷面积所占整个界面源的百分:。
缺陷检测（最高9um）
设备共享
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