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热场发射扫描电子显微镜
在线咨询品牌： 型号： 未知
1.分辨率
1.1二次电子分辨率：≤1.0nm (20kV)，≤3.0nm (1kV)
1.2 在工作距离10mm，束流3nA的分析模式下：≤3.0nm（15KV）
1.3低真空模式下背散射电子分辨率：≤1.8nm(15KV)
1.4放大倍率不低于5X - 600,000X（128 X96mm 实放大倍率条件下）；×14 to ×1,670,000(显示器放大倍率)
2.真空系统
2.1 高真空模式：电子枪部位真空度≤10-7Pa数量级，样品室达到≤10-3Pa数量级，真空系统自动控制；
2.2 全自动电磁阀门，无须空气压缩机
2.3采用三级真空系统：1个机械泵、1个分子泵，2个离子泵，均需原装进口。正常换样时间小于3分钟。
2.4 低真空功能标配：范围不低于10-150Pa，满足不导电样品无喷镀观察需要；
3.电子光学系统
3.1电子枪 肖特基场发射电子枪.
3.2加速电压：0.5KV-30KV
3.3束流范围：不窄于数pA-300nA
3.4物镜光阑：四级可调物镜光阑
3.5光学图像采集及导航功能
3.6 设备配置CCD光学相机，可以直接采集样品的普通光学照片。
3.7 可同时得到普通光学照片和二次电子照片，在放大过程中可以实现光学图像到二次电子图像的无缝转换。
3.8样品室和样品台：样品仓长宽350mm，最大可以放置样品直径：≥200mm，可完全观察178mm
